公开/公告号CN107026124B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 广州硅芯电子科技有限公司;
申请/专利号CN201610988699.6
申请日2016-11-10
分类号H01L21/82(20060101);H01L27/12(20060101);
代理机构44209 深圳市睿智专利事务所;
代理人陈鸿荫;王用强
地址 510163 广东省广州市荔湾区桥中中路219号首层
入库时间 2022-08-23 10:25:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-05
授权
授权
2017-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/82 申请日:20161110
实质审查的生效
2017-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/82 申请日:20161110
实质审查的生效
2017-08-08
公开
公开
2017-08-08
公开
公开
2017-08-08
公开
公开
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