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搜寻准标的方法和装置及检测准标位置的方法

摘要

一种搜寻准标的方法和装置,其通过对表示了准标(204,222;500;520;546)和准标周围区域的图像的图像数据进行处理来进行,所述图像由成像装置(190)拍摄,其中图像数据由图像数据处理装置(400)来处理,此装置包括:基准线数据存储部分(406),其可执行存储至少一条基准线的操作,各基准线对应于准标轮廓的至少一个部分,基准线的数量足以确定此准标;轮廓数据获得部分(400,S2),其可执行获得表示了由成像装置拍摄的图像轮廓的轮廓数据的步骤,各图像轮廓包括一组点,在所述点处相应图像的光学性能急剧地变化;以及搜寻部分(400,S25,S29,S35),其可根据由所得轮廓数据表示的轮廓和所存储的所述至少一条基准线来执行搜寻准标的步骤。

著录项

  • 公开/公告号CN1305360C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-03-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 富士机械制造株式会社;

    申请/专利号CN02142791.7

  • 发明设计人 江崎弘健;池博史;

    申请日2002-09-16

  • 分类号H05K13/00(20060101);H05K3/30(20060101);H01L21/50(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人章社杲

  • 地址 日本爱知县

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-03-14

    授权

    授权

  • 2004-06-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-04-09

    公开

    公开

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