公开/公告号CN1304253C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-03-14
原文格式PDF
申请/专利权人 恩特格里斯开曼有限公司;
申请/专利号CN01822118.1
申请日2001-12-11
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人何秀明
地址 美国明尼苏达州
入库时间 2022-08-23 08:59:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-03-14
授权
授权
2004-08-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-05-26
公开
公开
机译: 防止将FOUP门错误插入FOUP的系统
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