公开/公告号CN106047341B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-22
原文格式PDF
申请/专利号CN201610384438.3
申请日2016-06-02
分类号C09K11/65(20060101);C09K11/79(20060101);C09K11/80(20060101);H01L33/50(20100101);
代理机构11333 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人胡敬红
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号二区683号理工科技大厦808室
入库时间 2022-08-23 10:25:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-22
授权
授权
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K11/65 申请日:20160602
实质审查的生效
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 11/65 申请日:20160602
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置