自加热电迁移测试结构以及晶圆级自加热电迁移测试方法

摘要

本发明提供了一种自加热电迁移测试结构以及晶圆级自加热电迁移测试方法。本发明的晶圆级自加热电迁移测试结构包括：目标金属线、分别与目标金属线两端连接的第一焊盘和第二焊盘、分别布置在第一焊盘和第二焊盘正下方的第三焊盘和第四焊盘、以及将第三焊盘和第四焊盘连接起来的与目标金属线最接近的冗余金属线。