具有环形弹簧的三轴微陀螺仪

摘要

公开了一种具有环形弹簧的三轴微陀螺仪。本发明的三轴微陀螺仪包括：主弹簧部分；驱动部分；x质量部分；y质量部分；z质量部分；以及感测部分。主弹簧部分设置在x‑y平面上成包括参考点的闭合曲线形状并且具有弹性。驱动部分使主弹簧部分相对于x轴方向和y轴方向以彼此互补的方式收缩和扩张。联接到主弹簧部分的x质量部分根据主弹簧部分的收缩和扩张在y轴方向上运动，并且可在z轴方向上振动和晃动。联接到主弹簧部分的y质量部分根据主弹簧部分的收缩和扩张在x轴方向上运动，并且可在z轴方向上振动和晃动。z质量部分包括x振动质量装置和y振动质量装置，其中，x振动质量装置根据主弹簧部分的收缩和扩张在y轴方向上运动，并且可在x轴方向上振动和晃动，并且y振动质量装置根据主弹簧部分的收缩和扩张在x轴方向上运动，并且可在y轴方向上振动和晃动。感测部分感测x质量部分、y质量部分和z轴部分的振动晃动。具有以上结构的本发明的三轴微陀螺仪能够有效测量关于所有三个x轴、y轴和z轴的旋转运动。