模块化、可扩展型MEMS惯性测量单元

摘要

本发明公开了一种模块化、可扩展型MEMS惯性测量单元，用于解决现有MEMS惯性测量单元实用性差的技术问题。技术方案是包括框架、敏感模块、计算机模块、垫柱、外壳和螺钉。所述的框架由底座和正方体支架构成，正方体支架的下边框与底座固连，正方体支架的四个侧框各固定四块敏感模块。正方体支架的底框固定一块敏感模块。正方体支架的顶框固定一块计算机模块。顶框与底框之间固定一块敏感模块，垂直方向的模块之间使用垫柱隔开，计算机模块通过螺钉与最上方垫柱的螺纹孔紧固。外壳上的接插件与计算机模块电气连接后固定在框架的底座上。本发明通过模块化设计，满足了MEMS器件可扩展的性能需求，而且结构简单、布局紧凑、标准化程度高。