一种一体式双石英音叉谐振敏感元件及测力模块

摘要

本发明公开了一种一体式双石英音叉谐振敏感元件及测力模块，其中谐振敏感元件包括施力结构件及设于两端的第一音叉、第二音叉，第一音叉和第二音叉端部均设有底座，其中第一音叉包括连接在施力结构件和底座之间的第一叉指和第二叉指，第二音叉包括连接在施力结构件和底座之间的第三叉指和第四叉指；第一叉指、第二叉指、第三叉指和第四叉指表面均涂覆有电极区；第一音叉和第二音叉工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对轴向拉、压应力敏感；施力结构件、第一音叉、第二音叉和底座均为一体成型石英结构体。该谐振敏感元件可避免不同材料组装后导致的热膨胀系数不同、热性能不匹配、胶粘剂在温度变化时发生蠕变以及内应力存在的问题，测力精度高。