法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-09
授权
授权
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J9/00 申请日:20160112
实质审查的生效
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/00 申请日:20160112
实质审查的生效
2016-06-15
公开
公开
2016-06-15
公开
公开
机译: 使用基于速度校正的频率定位气动压力传感器
机译: 曝光装置例如投影仪,半导体制造系统的焦点校正方法,涉及基于用于校正图像的尺寸精度的设备的焦点值来执行照明设备的焦点校正。
机译: 基于三电性的气动传感器,气流处理装置和智能气动传感器系统