制造激光二极管基座的激光烧蚀工艺和激光二极管单元

摘要

一种制造激光二极管基座的方法包括提供底座的步骤，底座配置有陶瓷载体和在衬底上沉积的金属层。该方法还包括使用脉冲激光器，脉冲激光器操作为产生多个脉冲，所述多个脉冲在金属层表面上以预定的图案选择性排列，从而将金属层的所需区域烧蚀至所需深度。随后，将底座分割为多个基座，每一个基座均支撑激光二极管。金属层包括在陶瓷上沉积的并且厚度足以有效地促进散热的银子层。