法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
专利权的转移 IPC(主分类):C21C 7/10 登记生效日:20181229 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2018-08-28
授权
授权
2018-08-28
授权
授权
2018-08-03
著录事项变更 IPC(主分类):C21C 7/10 变更前: 变更后: 申请日:20161223
著录事项变更
2018-08-03
著录事项变更 IPC(主分类):C21C 7/10 变更前: 变更后: 申请日:20161223
著录事项变更
2018-08-03
著录事项变更 IPC(主分类):C21C 7/10 变更前: 变更后: 申请日:20161223
著录事项变更
2017-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C21C7/10 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C21C7/10 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C21C7/10 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C21C 7/10 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-04-26
公开
公开
2017-04-26
公开
公开
2017-04-26
公开
公开
2017-04-26
公开
公开
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机译: 降低可简化脱氢效率的RH过程中氢浓度的方法
机译: 用于将基质加载到真空处理模块中的设备和方法,用于在真空处理模块中处理真空沉积过程中的基质的设备和方法,以及用于基质的真空处理的系统
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