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惰性气体注入装置及惰性气体注入方法

摘要

本发明提供惰性气体注入装置及惰性气体注入方法。一种保管架用的惰性气体注入装置,在没有指示停止无效指令的通常停止状态下,在检测到检查门的打开状态的情况下,停止对容器供给惰性气体,在指示了停止无效指令的停止无效状态下,在检测到检查门的打开状态的情况下,继续基于之前供给模型的惰性气体的供给,并且禁止利用人为操作来变更确定之前供给模型的参数。

著录项

  • 公开/公告号CN104241166B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社大福;

    申请/专利号CN201410256255.4

  • 发明设计人 高原正裕;上田俊人;

    申请日2014-06-11

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人陈国慧

  • 地址 日本大阪府大阪市

  • 入库时间 2022-08-23 10:16:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-07

    授权

    授权

  • 2016-04-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20140611

    实质审查的生效

  • 2014-12-24

    公开

    公开

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