应用于无线温度传感器的高Q值单端对声表面波谐振器

摘要

本发明公开了一种应用于无线温度传感器的高Q值单端对声表面波谐振器，包括一个叉指换能器、分别分布于所述叉指换能器两侧的两个反射器以及压电基底，所述叉指换能器采用余弦函数切指加权的形式设置于所述压电基底上，两个所述反射器采用沟槽形式设置于所述压电基底上。所述压电基底为采用绕Y轴向旋转0°～30°切割且沿X方向传播的石英晶体。所述叉指换能器采用占空比为1.3～1.5的铝电极。本发明可以实现小体积、高Q值、低损耗以及低寄生等性能，提高了Q值，降低了器件的损耗，实用性强。