用于微平版印刷中的改进的照明系统

摘要

本发明涉及照明系统，其包括一照明光源、一设置在照明光源光路中的光束调节器、一第一衍射阵列、一聚光系统和一第二衍射阵列。照明光源发出的光经过光束调节器射到第一衍射阵列。然后，该光射到设置在第一衍射阵列和第二衍射阵列之间的光路中的聚光系统，该聚光系统包括多个固定光学元件和多个可移动光学元件。多个可移动光学元件设置在具有多个固定光学元件的光路中。可移动光学元件能在多个固定光学元件之间平移，以缩放从第一衍射阵列接收到的光。第二衍射阵列与聚光系统光学耦合，从聚光系统接收光，依次在光网上产生照明区域。