压电单晶片式惯性压电马达

摘要

本发明公开了一种压电单晶片式惯性压电马达，属于压电马达技术领域。本发明的技术方案要点为：压电单晶片式惯性压电马达，包括基座、压电片、非压电材料支撑体和导轨，其中压电片和非压电材料支撑体设置于基座和导轨之间，压电片的一端通过胶体垂直固定于基座上，压电片的另一端通过胶体固定有导轨，该压电片为厚度方向或径向极化的压电片，导轨的凹槽方向与压电片的极化方向一致。本发明制作成本较低，工艺简单，易于操作，结构稳定且多样，而且所制成的压电马达可由低电压驱动，更加安全且性能良好，在微纳操纵和控制领域有着广泛的应用前景。