法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-07
专利权的转移 IPC(主分类):G02B17/08 登记生效日:20200318 变更前: 变更后: 申请日:20150722
专利申请权、专利权的转移
2018-04-06
授权
授权
2018-03-20
著录事项变更 IPC(主分类):G02B17/08 变更前: 变更后: 申请日:20150722
著录事项变更
2016-01-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B17/08 申请日:20150722
实质审查的生效
2015-12-23
公开
公开
机译: 具有不同曝光角度分布的投射光产生曝光单元和用于物镜中的成像掩模版的折反射投影物镜的微光刻投影设备
机译: 以及由投影镜头制造的投影镜头制造设备,投影镜头制造方法,通过该投影镜头制造方法的具备该投影镜头的投影仪
机译: 带有倾斜偏转镜的折反射投射物镜,投射曝光设备,投射曝光方法和反射镜