有孔内部部件的涂覆方法及有孔内部部件

摘要

本发明提供一种真空处理装置中的有孔内部部件的涂覆方法，包括：用具有由金属材料构成的芯材(22)、由相对于涂覆膜(80)为非接合性的树脂材料和金属材料的复合体构成并且覆盖芯材(22)外周的金属-树脂复合层(24)的塞栓(20)，堵塞有孔内部部件(81)的小孔(78)的步骤A；在步骤A之后，在有孔内部部件(81)的表面上通过等离子体喷镀形成由陶瓷材料构成的涂覆膜(80)的步骤B；在步骤B之后，从小孔(78)拔取塞栓(20)的步骤C。由此解决了预先用塞栓堵塞小孔的技术问题，可以高效率地制造质量性能优异的涂覆膜。