公开/公告号CN105593403B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 韩国生产技术研究院;
申请/专利号CN201480054418.9
申请日2014-11-19
分类号C23C18/16(20060101);
代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人姜虎;陈英俊
地址 韩国忠清南道
入库时间 2022-08-23 10:09:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-13
授权
授权
2016-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/16 申请日:20141119
实质审查的生效
2016-05-18
公开
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