一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺

摘要

一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺，主要步骤包括：在平底坩埚底部籽晶碎块；将拼接好的平板籽晶块整体放入坩埚，使平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间留有均匀的间隙；将边框籽晶块沿着坩埚四周内壁插入平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间的间隙并下压，使边框籽晶块的压块压住平板籽晶块；在籽晶块上铺设硅料；将坩埚放入铸锭炉内并抽真空；通过熔化阶段的温度控制，使硅料熔融渗入拼接缝隙，籽晶从与硅液接触的面开始逐渐熔化；经定向散热，在未熔化籽晶上实现硅锭的定向生长，获得类单晶铸锭。使用本发明工，拼接面缝隙能够得到很好的控制，提高了单晶面积比例；并且由于边框籽晶块的限位作用，防止籽晶块受热翘起，提高铸锭质量。