公开/公告号CN106548812B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国核动力研究设计院;
申请/专利号CN201611052719.5
申请日2016-11-25
分类号
代理机构济南智圆行方专利代理事务所(普通合伙企业);
代理人王希刚
地址 610041 四川省成都市武侯区一环路南三段28号
入库时间 2022-08-23 10:09:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-27
授权
授权
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G21C15/14 申请日:20161125
实质审查的生效
2017-03-29
公开
公开
机译: 用于制造的微光刻投影曝光系统,例如集成开关电路,具有光学装置,与模拟系统相比,光学装置的最大值修改最小
机译: 用于化学或吸收过程的带有固体床或流化床的反应堆-相邻热管之间的间隙不大于最小活性颗粒的长度,从而最大化了反应堆的加热或冷却效果
机译: 换热器的气流阀-带有瓣阀,可在最小和最小之间分配空气。和最大通过热交换器的路径长度