公开/公告号CN1275100C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 东友FINE-CHEM株式会社;
申请/专利号CN200410059458.0
申请日2004-06-28
分类号G03F7/42(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人丁香兰
地址 韩国全罗北道益山市
入库时间 2022-08-23 08:58:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-09-13
授权
授权
2005-04-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-09
公开
公开
机译: 光致抗蚀剂剥离液组合物和使用其的光致抗蚀剂剥离方法
机译: 光致抗蚀剂剥离液组合物和使用其的光致抗蚀剂剥离方法
机译: 光致抗蚀剂剥离液组合物和使用其的光致抗蚀剂剥离方法