公开/公告号CN105159239B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201510435372.1
申请日2015-07-22
分类号G05B19/418(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人智云
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 10:07:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
授权
授权
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20150722
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
机译: SSPC分配系统和控制策略
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