一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法

摘要

一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法，属于振动隔离与抑制装置，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题。本发明的三自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴位移信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴的转动方向及Z轴的平动方向三自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障。