防止极小分辨度存储器动子的平面外运动的固定器的应用

摘要

用于其他部件、各种传感器和数据存储装置中的微型机械的驱动器(10)。驱动器(10)包括定子晶片(20)和定位在定子晶片(20)附近的微动子(50)。在定子晶片(20)和微动子(50)之间是给予特定电压的电极(80，90)，电极发出使微动子(50)相对定子晶片(20)定位的电场。在定子晶片(20)和微动子(50)之间还设有防撞器(120)，能防止各电极(80，90)互相接触。