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制造用于EUV光刻法的掺杂钛的石英玻璃的方法和据此制成的坯料

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摘要

存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti

1. 制造用于EUV光刻法的掺杂钛的石英玻璃的方法和据此制成的坯料 [P] . 中国专利： CN105431388B . 2017.12.22
2. 由用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件及其制造方法 [P] . 中国专利： CN105278006B . 2017.09.29
3. Method for producing titanium-doped silica glass for use in EUV lithography and blank produced in accordance therewith [P] . 美国专利： US9586850B2 . 2017-03-07

机译：用于EUV光刻的掺杂钛的石英玻璃的制造方法以及根据该方法制造的坯料
4. Method for manufacturing a blank made of fluoride and titanium doped, highly-silicate glass for use in EUV lithography and blank manufactured according to said method [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3000791B1 . 2017-04-26

机译：用于EUV光刻的由氟化物和钛掺杂的高硅酸盐玻璃制成的坯料的制造方法以及根据所述方法制造的坯料
5. Method for manufacturing a blank made of fluoride and titanium doped, highly-silicate glass for use in EUV lithography and blank manufactured according to said method [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3000791A1 . 2016-03-30

机译：用于EUV光刻的由氟化物和钛掺杂的高硅酸盐玻璃制成的坯料的制造方法以及根据所述方法制造的坯料