超精密研磨用膜片

摘要

超精密研磨用膜片，它涉及一种新型的研磨用具。它为薄片状结构，沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层(1)和磨料层(2)，在磨料层(2)内均匀地固着有磨料(3)，底膜层(1)和磨料层(2)均由树脂材料制成，磨料层(2)中的磨料(3)为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料；磨料(3)的粒度号为18000～400。本发明研制出磨料在固着状态下磨削的工具，从而改变了传统的研磨工艺，使磨削工艺具有研磨效果好、效率高、可以加工复杂元件、能够实现加工过程自动化、不污染环境的优点。