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公开/公告号CN106158567B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201610517840.4
发明设计人 小西弥生;佐藤贡;高野昌树;玉山尚太朗;西村雅子;渡边俊哉;许斐麻美;
申请日2013-03-15
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人范胜杰
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:04:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-15
授权
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/22 申请日:20130315
实质审查的生效
2016-11-23
公开
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