公开/公告号CN1261827C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 东友FINE-CHEM株式会社;
申请/专利号CN200410059459.5
申请日2004-06-28
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人丁香兰
地址 韩国全罗北道益山市
入库时间 2022-08-23 08:58:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-09-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/42 授权公告日:20060628 终止日期:20110628 申请日:20040628
专利权的终止
2006-06-28
授权
授权
2005-04-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-09
公开
公开
机译: 光致抗蚀剂剥离液组合物和使用其的光致抗蚀剂剥离方法
机译: 光致抗蚀剂剥离液组合物和使用其的光致抗蚀剂剥离方法
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