磁检测器及其制造方法，铁磁隧道结器件及其制造方法，以及使用它的磁头

摘要

本发明披露了一种磁检测器，它包括：(1)一支撑基片，(2)一铁磁隧道结元件，其具有在该支撑基片上的第一磁层，在所述第一磁层上的隧道绝缘层，所述隧道绝缘层包括氧化铝，所述氧化铝是由氧化在第一磁层上形成的铝膜获得的，所述铝膜是使用99.999%或更高纯度的铝靶通过溅射形成的，以及在隧道绝缘层上的第二磁层，以及(3)一用于把磁场的改变转换为电阻的改变的转换元件。此外，作为(2)的铁磁隧道结元件，使用其隧道结具有沿所施加电压的方向为不对称的电压-电阻特性的元件。所述不对称的电压-电阻特性可以通过对绝缘层材料的薄膜进行热处理，改变用于形成氧化物的绝缘层的环境中氧气的局部压力，使用两个或多个用于形成薄膜的靶的材料并移动基片等方法来获得。