高掺杂BaTiO3:Fe多铁薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种高Fe含量掺杂BaTiO₃多铁薄膜材料及其制备方法，其分子式为BaTi_1‑xFe_xO₃，x为掺杂成分的原子比，x＝0.01～0.4，其制备方法，包括有如下依次步骤：1)前驱体制备；2)衬底清洗预处理；3)高掺杂BaTiO₃:Fe多铁薄膜的制备：将步骤1)制得的高掺杂BaTiO₃:Fe溶胶前驱体旋涂于步骤2)所述的衬底上，然后对其进行阶梯退火；4)多次重复步骤3)的涂胶、退火过程，得到需要厚度的薄膜样品。本发明的前驱体溶液澄清透明，能够长时间存放；所生长的薄膜表面均匀致密，结晶性能好，无杂相，且生成的薄膜厚度可控性好，单向性高；薄膜材料在室温下具有较好的铁电和铁磁性。