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一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室

摘要

本发明一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室,涉及测量实验设备领域,其包括腔室本体;所述腔室本体上设有反冲离子探测口、电子探测口、分子泵安装口、注气针阀安装口、系统连接口、进气口、真空规接口和飞行时间谱仪检测口;所述分子泵安装口开设于所述腔室本体的下侧;所述注气针阀安装口、飞行时间谱仪检测口均开设于所述腔室本体的上侧;所述注气针阀安装口和分子泵安装口设置于同一竖直轴线上;所述飞行时间谱仪检测口位于注气针阀安装口的侧边。通过上述方式,该碰撞腔室将原来安装分子泵的地方安装一个探测器,用于探测电子;将分子泵安装在原来的注气针阀处,处于整个腔室的下面,便于安装也较稳当。

著录项

  • 公开/公告号CN105632876B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏德佐电子科技有限公司;

    申请/专利号CN201610130407.5

  • 发明设计人 孙安;范义奎;张力平;

    申请日2016-03-08

  • 分类号H01J49/40(20060101);H01J49/02(20060101);

  • 代理机构32231 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人翁斌

  • 地址 210034 江苏省南京市栖霞区元化路南大科学园智慧楼6号C座

  • 入库时间 2022-08-23 10:00:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01J 49/40 登记生效日:20190729 变更前: 变更后: 申请日:20160308

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-09-15

    授权

    授权

  • 2017-09-15

    授权

    授权

  • 2016-06-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/40 申请日:20160308

    实质审查的生效

  • 2016-06-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/40 申请日:20160308

    实质审查的生效

  • 2016-06-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/40 申请日:20160308

    实质审查的生效

  • 2016-06-01

    公开

    公开

  • 2016-06-01

    公开

    公开

  • 2016-06-01

    公开

    公开

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