掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置

摘要

本发明提出一种掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置，包括真空加热炉、真空泵、控制柜、压力控制执行机构以及热弯模具机构，其中：热弯模具机构安置在真空加热炉的内部等温区内；压力控制执行机构位于真空加热炉的正上方，通过开口波纹管与真空加热炉相连接，压力控制执行机构输出的压力通过热弯模具机构施加到装载在热弯模具机构内的光学元件上；真空泵通过真空管路与真空加热炉相连接；所述控制柜用于热弯装置的压力、温度和真空度控制，其具有一个工控机，控制压力控制执行机构、真空加热炉以及真空泵的运行：热弯装置工作时，通过真空泵保持真空加热炉的等温区腔体内的真空度；真空加热炉在控制柜设定的温度区间范围内保持其等温区的温度；以及通过压力控制执行机构的运行使压力经由热弯模具机构施加到光学元件上来热弯光学元件。