具有体接触的鳍部FET装置及形成具有该体接触的该鳍部FET装置的方法

摘要

本发明涉及具有体接触的鳍部FET装置及形成具有该体接触的该鳍部FET装置的方法，此处提供鳍部场效晶体管装置及形成该鳍部场效晶体管装置的方法。在实施例中，鳍部场效晶体管装置包含具有鳍部的半导体衬底。栅极电极结构覆盖在该鳍部上面。源极和漏极环状及/或延伸区域及磊晶生长的源极区域和漏极区域形成在该鳍部中，并且邻近该栅极电极结构而设置。体接触设置在该鳍部的接触表面上，并且该体接触与该环状及/或延伸区域及该磊晶生长的源极区域和漏极区域分离地隔开。