法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
授权
授权
2015-04-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130827
实质审查的生效
2015-04-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130827
实质审查的生效
2015-03-18
公开
公开
2015-03-18
公开
公开
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