用于在激光烧蚀期间保护光线光学组件的系统

摘要

在带电粒子束附近执行激光烧蚀、同时防止用于执行烧蚀的设备的光线光学组件被涂覆有产生于烧蚀过程的残渣的方法和设备。按照本发明的优选实施例，保护透明掩体用于保护激光器光学组件。优选掩体可在无需中断样本室中的真空的情况下更换或再定位，并且不会对不合需要的充电效应特别敏感。