法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-28
授权
授权
2016-02-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/18 申请日:20131227
实质审查的生效
2016-02-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/18 申请日:20131227
实质审查的生效
2016-01-13
公开
公开
2016-01-13
公开
公开
机译: 包括有机钌化合物的化学沉积原料以及使用该化学沉积原料的化学沉积方法
机译: 由有机铂化合物组成的化学沉积原料以及使用该化学沉积原料的化学沉积方法
机译: 有机钯复合化学沉积原料以及使用该化学沉积原料的化学沉积方法