基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法

摘要

本发明提供一种基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法，即使基板搬运机器人的臂较短，也能检测基板载置部上的基板的配置状态。在该基板搬运机器人（13）中，控制部（133）的结构为，在俯视时，在手部（131）相对于基板收装中心线（141）向基板搬运机器人的旋转中心（C1）侧倾斜的状态下，通过检测部（150）检测盒（30）内的基板（110）的配置状态。