含倍半萜内酯成膜树脂及其负性248nm光刻胶

摘要

本发明公开一种含倍半萜内酯的成膜树脂及其负性248nm光刻胶，其共聚物成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成，成膜树脂的分子量为4,000~1,00,000，共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：取代苯乙烯5%～40%，含天然产物倍半萜内酯的组成单元10%～60%，其它性能调节组分单体1%~20%。由上述共聚物成膜树脂配制而成的248nm深紫外负性光刻胶，主要由以下质量份的化合物组成：成膜树脂10～35份，交联剂0.2～15份，光致酸0.5～6份，溶剂70～90份，有机碱0.01～0.5份。本发明所述共聚物成膜树脂配制而成的248nm深紫外负性光刻胶具有良好的分辨率，增加了光刻胶在曝光波长处的透明性，可提高其光敏性能，还能增加光刻胶与硅片之间的粘结性能和抗刻蚀性能。