一种超分辨共焦显微成像装置与方法

摘要

本发明公开了一种超分辨共焦显微成像装置与方法，属于光学显微成像及精密测量技术领域，该装置所采用的测量方法为，首先由激光器产生的激光经过超振荡波带片会聚在被测物体上，并透过被测物体射入反射式显微物镜，然后激光经过两次反射聚焦于共焦针孔处，并被光探测器收集。该装置中的被测物体和反射式显微物镜的移动分别通过三维PZT和一维PZT完成，以实现对物体的层析成像；该装置综合采用超振荡波带片和反射式显微物镜实现扫描光束的会聚，避免了现有共焦成像装置采用多个透镜造成的装调误差，从而显著改善共焦成像装置的成像效果。本发明无需透镜组件，装置的结构简单，性能稳定，可用于微小器件的超分辨共焦成像。