测量单元及净化气体的流量测量方法

摘要

本发明的测量单元测量收容了个数比平均数少的物品的容器(6)内的净化气体的流量。利用测量单元(30)测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元(30)具备：基板(32)；配置在基板(32)的底面、与搁板座(20)的喷嘴(24)接触、用来自基板(32)的载荷与喷嘴(24)之间保持气密的同时导入净化气体的气体导入部(36)；具有测量净化气体流量的流量计(41)和电源(40)的电路部；相对于基板(32)沿上下方向位移自由、将测量单元(30)自重的一部分支承在搁板座(20)上的多个腿部(38)。