硅烷热解的多晶硅生产方法与装置

摘要

本发明公开了一种硅烷热解的多晶硅生产方法与装置，该生产装置包括钟罩和圆盘状的底板，钟罩和底板形成反应区，硅棒采用六边形排布，底板上设置有多个进气导流筒，导流筒侧壁上开设喷口，原料气从喷口进入反应区直接喷向硅棒表面，反应尾气从钟罩反应器顶部排出或进入出口导流筒排出。通过该装置生产时，低温反应气体直接喷向沉积反应发生的硅棒表面，冷却了高温硅棒周围，对于热质传递具有强烈的协同效应，导流筒在硅棒之间具有低温隔离作用，利用辐射热量预热原料气，提高了热效率，具有降低能耗的效果。