法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-07-08
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-01-25
授权
授权
2004-01-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-29
公开
公开
机译: 利用水热合成沉淀技术生产的催化剂,以及利用相同方法制备的碳纳米管
机译: 利用纳米晶硅膜结构的等离子体沉积技术,形成方法,具有纳米晶硅膜结构的非易失性存储器件及其形成方法
机译: 利用等离子体沉积技术连续沉积纳米晶硅薄膜和多层绝缘层,非易失性存储器件及其形成方法的纳米晶硅层