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公开/公告号CN104205307B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201380011565.3
发明设计人 约翰·皮斯;尼尔·本杰明;
申请日2013-01-30
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:55:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-19
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20130130
实质审查的生效
2014-12-10
公开
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