一种判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法

摘要

本发明公开了一种判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法，判断依据为：利用数字波面干涉仪直接干涉检测旋转轴对称非球面时，采集的干涉图样能否被数字波面干涉仪的探测器完全分辨，即干涉图样上干涉条纹最密处的一个干涉条纹对应的波像差是否不超过探测器的Nyquist频率对应的波像差，是，则旋转轴对称非球面对于数字波面干涉仪能采用直接干涉检测的方法。本发明克服了经验判断某一旋转轴对称非球面对于某种数字波面干涉仪是否能够采用直接干涉检测的不准确性，本发明提供的可直观、准确地用于判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法，理论可靠，判断准确，适用范围广，节省旋转轴对称非球面检测方案的制定时间，提高工作效率。