公开/公告号CN104798190B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201380060451.8
申请日2013-07-17
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人马爽
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2022-08-23 09:54:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
授权
授权
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20130717
实质审查的生效
2015-07-22
公开
公开
机译: 多工位机床具有用于处理工件和插入/移出工件的基板承载站,以及带有承载工件支架驱动器的承载板的支撑
机译: 在加工设备中定位工件承载器构件的方法以及适于在加工设备中定位的工件承载器构件
机译: 用于承载在传送带上的承载器上的工件的起重装置具有两个相对的爪,它们的倾斜面与承载器上的互补倾斜面接合,以在一个爪向内移动时使承载器向上移动