直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、台面(6)、栅极(7)、钝化层(8)和保护层(11)，其中钝化层(8)内设有凹槽(9)，钝化层(8)与保护层(11)之间淀积有直角栅场板(10)，直角栅场板(10)靠近栅极一侧边缘与凹槽靠近栅极一侧边缘对齐，该直角栅场板与栅极(7)电气连接，且下端完全填充在凹槽(9)内。本发明具有工艺简单、击穿电压高、场板效率高、可靠性高和成品率高的优点。