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公开/公告号CN104390991B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海交通大学;
申请/专利号CN201410654841.4
发明设计人 徐小严;王虹;李建;吕维洁;孙光爱;张荻;
申请日2014-11-17
分类号G01N23/202(20060101);
代理机构31236 上海汉声知识产权代理有限公司;
代理人郭国中;樊昕
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2022-08-23 09:53:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
授权
2015-04-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/202 申请日:20141117
实质审查的生效
2015-03-04
公开
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机译: 利用干涉法测量薄膜厚度的装置和利用干涉法测量薄膜厚度的方法
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