基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法

摘要

本发明提供一种基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法。基板转移暨处理系统包含一基板转移装置、至少一热板装置、一药液装置、一倾斜装置。基板转移装置用来将基板于一输送路径上移动。热板装置设置于输送路径上，用来承载并加热基板。药液装置设置于输送路径上。药液装置被驱动移动至热板装置所承载的基板处。药液装置与基板的上表面形成一封闭空间。于封闭空间提供一药液与基板的上表面接触以产生一化学反应。倾斜装置用来倾斜热板装置、药液装置及基板至一角度。热板装置对基板加热以使基板与药液加速进行化学反应。