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利用线性调频多光束激光外差二次谐波法及扭摆法测量微冲量的方法

摘要

利用线性调频多光束激光外差二次谐波法及扭摆法测量微冲量的方法,属光学领域。是为了解决现有的激光干涉法测量微小冲量的偶然误差较大,测量精度低的问题。线性调频激光器发出线偏振光经第一平面反射镜和第二平面反射镜两次反射后入射至平面标准镜;经平面标准镜的前表面透射的光束在平面标准镜内经平面标准镜的后表面和前表面多次反射后获得多束反射光,该多束反射光经平面标准镜的前表面透射之后与经平面标准镜前表面反射后的光束均通过会聚透镜和透过真空窗会聚到真空室外的光电探测器的光敏面上;光电探测器输出电信号给信号处理系统;所述信号处理系统根据连续接收到的电信号获得标准梁所受到的微冲量。本发明适用于微冲量的测量。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L5/00 授权公告日:20170201 终止日期:20190515 申请日:20140515

    专利权的终止

  • 2017-02-01

    授权

    授权

  • 2017-02-01

    授权

    授权

  • 2014-09-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20140515

    实质审查的生效

  • 2014-09-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 5/00 申请日:20140515

    实质审查的生效

  • 2014-08-06

    公开

    公开

  • 2014-08-06

    公开

    公开

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