法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L5/00 授权公告日:20170201 终止日期:20190515 申请日:20140515
专利权的终止
2017-02-01
授权
授权
2017-02-01
授权
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20140515
实质审查的生效
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 5/00 申请日:20140515
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
2014-08-06
公开
公开
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机译: 外差干涉法中调制激光束的利用
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪