用于对准超声键合系统的工装元件的方法及系统

摘要

本发明提供了一种超声键合系统的物料处理系统的目标工装元件的对准方法。该方法包括：a)提供限定参考工装元件的至少一部分的相对位置的覆盖图；b)查看与覆盖图的相应部分结合的目标工装元件的至少一部分的图像；以及c)通过操作图像中的覆盖图，来调整目标工装元件的至少一部分的位置。